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深度解析高效过滤器原理和技术特点,十万级无尘净化车间首选设备

2021-10-30| 来源: 网络整理| 查看: 101

深度解析高效过滤器的原理和技术特点,十万级无尘净化车间首选设备!


深度解析高效过滤器的原理和技术特点,十万级无尘净化车间首选设备!为了满足各种工业产品微细化、高精密度的要求,除了从洁净室的布置、围护和室内装饰以及净化空调系统的形式、气流流型等方面采用可靠的技术措施外,关键技术措施之一便是选用符合要求的高效空气过滤器(HEPA)、超高效空气过滤器(ULPA)。

深度解析高效过滤器原理和技术特点,十万级无尘净化车间首选设备

随着洁净技术的发展,高效空气过滤器无论是过滤材料、结构形式、密封材料、外框材质以及检测方法变化发展很快,尤其是集成电路生产的日新月异,要求生产环境达到控制微粒直径为0.05 - 0.1μm,空气洁净度等级要求1级甚至更为严格,并且还要控制生产环境中的分子级化学污染物、重金属污染物等。

在这方面国内外的科研、设计和制造厂家都做了大量研究开发工作,取得了许多可用的成果,但是国产高效过滤器的产品与国际先进产品相比仍有较大差距,尤其是用于比5级(100级)和要求更严格的洁净室用高效过滤器、超高效过滤器的质量、检测方法等方面存在着较大差距。


我国的国家标准GB 13354-92《高效空气过滤器》中规定,高效过滤器是采用钠焰法检测,其效率达到99.9%以上的过滤器;或对粒径)0.15m的微粒采用粒子计数测定法,其效率达到99.999%以上的过滤器。


高效过滤器的耐火分级为3级。1级过滤器,过滤器的全部材料都是不燃的,不燃性材料应符合国家标准GB 8624, A级;2级过滤器,过滤器滤料应为不燃性材料,其要求同1级;分隔板、框架可采用符合GB 8624, B2级的可燃性材料;3级过滤器,过滤器的全部材料可采用符合GB 8624, B2级的可燃性材料。


这里需要说明的是现在国内的高效过滤器制造厂家正在逐步按国家标准要求进行生产。但是,仍有一些工厂未按标准的要求标注高效过滤器的性能规格,在实际选用时应予注意。有隔板高效过滤器,由于制作简单、价格低等优点,到现在仍在许多场合应用。我国有隔板过滤器的基本尺寸为610mm, 484mm, 630mm3种,各制造厂家的规格都会有所变化。


e-PTFE过滤器(无隔板),是康斐尔公司采用不含硼(场q)的膨体聚四氟乙烯过滤材料制作的高效过滤器,e-PTFE滤料不含挥发性物质,耐化学腐蚀、强度好、不易破损、阻力小,表4-43是e - PTFE过滤器的部分规格性能。表中MD/e- PTFE的滤芯厚度为45mm, MX/e-PTFE的滤芯厚度为68mm;外框材料有表面阳极处理的铝合金、镀锌钢板、不锈钢板等。工作温度<90t,相对湿度100 % (70t ),这种过滤器适合于以集成电路生产为代表的微电子洁净室使用。e-PTFE过滤器还具有强度高、不浸水和耐酸、耐碱、耐有机溶剂、耐紫外线等优点。该公司还有低硼石英玻璃纤维滤料的过滤器产品,玻璃纤维中的几03含量<0.05%(质量比)。过滤器的结构形式有通用型即千式垫片密封,刀.口形即采用液槽密封,风口型采用干式垫片密封和风管连接。该公司还有耐高温的铝隔板高效过滤器、耐高温无隔板高效过滤器,滤材为玻璃纤维滤纸,外框材料为不锈钢或复合陶瓷材料,密封胶为陶瓷材质,密封垫为玻璃纤维或陶瓷材质,最高温度可达350℃,适合于药品、化工产品生产所需耐高温末端高效过滤器。


随着科学技术和各种产品生产工艺的日新月异的发展,洁净室的建造对空气过滤器尤其是高效过滤器提出了更高的要求,如要求对0.05-0.1weimi5的过滤效率、甚至0.01μm的过滤效率达到7个9. 8个9,即被称为超ULPA的过滤器;要求在额定风量下的过滤器阻力小于50Pa;沉积在滤料上的微粒不允许再飞散的可能;过滤器的使用寿命应在5年以上,并且废弃的过滤器容易处理等。据了解,目前国外有的厂家已能生产制造对0.01μm微粒的过滤效率达到99.999 995%的ULPA过滤器,康斐尔公司生产的MGSSGS型过滤器,对0.12μm的过滤效率为99.999 995%。


以上就是高效过滤器的原理和技术特点,如果你的十万级无尘净化车间需要选择空气过滤设备,可以参考一下再决定哦!



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